1、真空的定义

真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态

2、真空度

处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

3、真空度单位

通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。

1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱

4、托与帕的转换

1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托

5、平均自由程

作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。

6、流量

单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

7、流导

表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。

U＝Q/(P2- P1)

8、压力或压强

气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。

9、标准大气压

压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。

10、极限真空

真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。

11、抽气速率

在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp＝Q/（P－P0）

12、热偶真空计

利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。

13、电离真空计（又收热阴极电离计）

由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。

14、复合真空计

由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。

15、冷阴极电离计

阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。